從低壓擴散、PECVD，看高效電池用關(guān)鍵設(shè)備發(fā)展現(xiàn)狀與出路
從低壓擴散、PECVD，看高效電池用關(guān)鍵設(shè)備發(fā)展現(xiàn)狀與出路
演講題目：高效電池用關(guān)鍵設(shè)備發(fā)展現(xiàn)狀與展望——低壓擴散、PECVD
演講人：北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司臥式爐事業(yè)部副總鄭建宇
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